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產品詳情 PRODUCT
制氮恒濕一體柜
添加時間:2026.08.21
制氮恒濕一體柜

恒濕氮氣一體機(氮氣恒濕柜 / 制氮恒濕一體機)通用技術參數

分為兩類:外接氮氣源型、內置制氮一體機(自帶 PSA 制氮),多用于晶圓、IC、BGA、MSD 元器件、貴金屬、光學器件防氧化防潮存儲。

一、環境控制參數

表格

項目指標

濕度控制范圍 1%~60%RH可調,超低濕款可做到 1?10% RH 

濕度精度 ±2~±3% RH;分辨率 0.1% RH 

溫度顯示范圍 -9℃~99.9℃;精度 ±1℃;分辨率 0.1℃ 

氧含量(選配氧傳感器) 0?25% VOL,可設定氧閾值聯鎖充氮;精度≤±2% FS 

柜內壓力 微正壓 5?20Pa,防止外界空氣滲入 

降濕恢復時間 關門后 5?12min 達到設定濕度(視容積) 

二、氣源參數

①外接氮氣源機型(市面主流)

輸入氮氣純度:≥99.99%(4N),露點≤?40℃ 

進氣工作壓力:0.2?0.4MPa 

節氮控制:濕度 / 氧含量閉環,達標自動斷氣,超標自動充氮,帶流量調節 

②內置制氮一體機(整機自帶 PSA 制氮模塊)

驅動氣源:干燥壓縮空氣,0.6?0.7MPa,露點≤?40℃ 

產出氮氣純度:95?99.9% 可調 

產氮流量:300?1200L/h(按柜體容積選型) 

三、柜體與結構參數

材質:冷軋鋼板防靜電烤漆(ESD 款);高端選配304 不銹鋼 

防靜電:ESD 機型表面電阻 10??10?Ω,配防靜電接地端子 

門體:鋼化玻璃觀察窗,加壓鎖密封門;單門 / 雙開門 / 多開門 

層板:可調節活動層板,單層均勻承重 50?100kg 

腳輪:帶剎車萬向腳輪 + 支撐調平腳 

四、電氣與控制

供電:AC220V 50Hz;功率待機 15?30W,制氮一體機整機 300?800W 

控制:7 寸觸摸屏 / LED 數顯;溫濕度、氧含量實時顯示;斷電參數記憶 

報警:濕度超限、氧超限、門未關、氣源壓力不足聲光報警 

數據(選配):USB 導出、RS485 通訊、上位機軟件,存儲溫濕度氧歷史記錄,滿足 J?STD?033D 物料管控


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